Fluorine-containing compound, fluorine-containing polymer compound, resist composition and patterning method using same

WO2010073934 Art A1 1. Juli 2010

Anmelder: Central Glass Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010073934
Aktenzeichen: EP09834737
Anmeldetag: 15. Dezember 2009
Veröffentlichung: 1. Juli 2010
Rechtsraum: WO
IPC: C08F20/36C07C235/06C08F12/26C08F16/28G03F7/038G03F7/039H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Central Glass Company, Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Central Glass

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Flachglas, Spezialglas sowie Fluorchemikalien für Industrie und Bauwesen herstellt.

1.099 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik Organische Chemie

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