Cleaning agent for silicon wafer
WO2010074134
Art A1
1. Juli 2010
Anmelder: Central Glass Company, Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2010074134
- Aktenzeichen
- EP09834932
- Anmeldetag
- 24. Dezember 2009
- Veröffentlichung
- 1. Juli 2010
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/304H01L21/308
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Central Glass Company, Limited
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Central Glass
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Flachglas, Spezialglas sowie Fluorchemikalien für Industrie und Bauwesen herstellt.
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