Einzelspiegel zum Aufbau eines Facettenspiegels, insbesondere zum Einsatz in einer Projektionsbelichtungsanlage für die Mikro-Lithographie

WO2010079133 Art A2 15. Juli 2010

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010079133
Aktenzeichen: EP10700483
Anmeldetag: 8. Januar 2010
Veröffentlichung: 15. Juli 2010
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/09G03F7/20G02B26/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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