Tomographic atom probe with flight-time mass spectrometer including an electrostatic device

WO2010081803 Art A1 22. Juli 2010

Anmelder: Centre National de la Recherche Scientifique (C.N.R.S.), Cameca 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010081803
Aktenzeichen: EP10700979
Anmeldetag: 12. Januar 2010
Veröffentlichung: 22. Juli 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01J49/06H01J49/40H01J37/285

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Centre National de la Recherche Scientifique (C.N.R.S.)
Cameca
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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