Charged particle beam pvd device, shielding device, coating chamber for coating substrates, and method of coating

WO2010082106 Art A1 22. Juli 2010

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010082106
Aktenzeichen
EP10731093
Anmeldetag
11. Januar 2010
Veröffentlichung
22. Juli 2010
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/22C23C14/34C23C14/56C23C14/54
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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