Stage equipment, exposure equipment, exposure method and device manufacturing method

WO2010082475 Art A1 22. Juli 2010

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010082475
Aktenzeichen: EP10731145
Anmeldetag: 13. Januar 2010
Veröffentlichung: 22. Juli 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/20H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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