Electrostatic chuck and method for manufacturing electrostatic chuck

WO2010082606 Art A1 22. Juli 2010

Anmelder: Toto Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010082606
Aktenzeichen: EP10731275
Anmeldetag: 14. Januar 2010
Veröffentlichung: 22. Juli 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683H02N13/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Toto Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 TOTO

TOTO ist ein japanischer Hersteller von Sanitärkeramik und Badtechnik, bekannt für Toilettensysteme wie Washlet. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Straßen-, Wasser- und Tiefbau sowie Halbleiter- und Werkstofftechnik, ergänzt durch Haushalts- und Konsumgüter. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2026.

601 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von