Equi-biaxial flexure test device for thin and ultra-thin semiconductor wafers and other wafers
WO2010082977
Art A1
22. Juli 2010
Anmelder: University of Utah Research Foundation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2010082977
- Aktenzeichen
- EP09838551
- Anmeldetag
- 30. November 2009
- Veröffentlichung
- 22. Juli 2010
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01B7/16
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- University of Utah Research Foundation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
University of Utah Research Foundation
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