Polishing pad and system with window support

WO2010082992 Art A2 22. Juli 2010

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010082992
Aktenzeichen
EP09838560
Anmeldetag
10. Dezember 2009
Veröffentlichung
22. Juli 2010
Rechtsraum
WO
IPC
B24B37/04B24B49/12B24B7/12H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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