Application of benzocyclobutene resin to imprinting technique, and method for forming pattern using the technique

WO2010084918 Art A1 29. Juli 2010

Anmelder: Nissan Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010084918
Aktenzeichen: EP10733525
Anmeldetag: 21. Januar 2010
Veröffentlichung: 29. Juli 2010
Rechtsraum: WO
IPC: B29C59/02C08F130/08H01L21/027B29K23/00B29K25/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nissan Chemical Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

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