Antenna for inductively coupled plasma generation, inductively coupled plasma generator, and method of driving the same

WO2010085109 Art A2 29. Juli 2010

Anmelder: SNU R&DB Foundation 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010085109
Aktenzeichen: EP10733662
Anmeldetag: 22. Januar 2010
Veröffentlichung: 29. Juli 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/34H05H1/30H05H1/24H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SNU R&DB Foundation
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 SNU R&DB Foundation

Südkoreanische Stiftung der Seoul National University für Forschungsförderung und Technologietransfer, verwaltet Patente und Kooperationen mit der Industrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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