Alicyclic compound, method for manufacturing same, composition containing same and resist pattern formation method using same

WO2010087339 Art A1 5. August 2010

Anmelder: Idemitsu Kosan Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010087339
Aktenzeichen
EP10735807
Anmeldetag
26. Januar 2010
Veröffentlichung
5. August 2010
Rechtsraum
WO
IPC
C07J9/00G03F7/004G03F7/039C09D199/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Idemitsu Kosan Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Idemitsu Kosan

Japanisches Energie- und Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Aktiv in Mineralölverarbeitung, petrochemischen Produkten, Schmierstoffen sowie Materialien für organische Leuchtdioden (OLED).

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