Temperature sensing device, heating device

WO2010087356 Art A1 5. August 2010

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010087356
Aktenzeichen
EP10735822
Anmeldetag
27. Januar 2010
Veröffentlichung
5. August 2010
Rechtsraum
WO
IPC
F27D21/00F27D19/00G01K1/16H05B3/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ULVAC, INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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