Temperature sensing device, heating device
WO2010087356
Art A1
5. August 2010
Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2010087356
- Aktenzeichen
- EP10735822
- Anmeldetag
- 27. Januar 2010
- Veröffentlichung
- 5. August 2010
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- F27D21/00F27D19/00G01K1/16H05B3/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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