Apparatus for manufacturing single crystal

WO2010089816 Art A1 12. August 2010

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010089816
Aktenzeichen
EP09839594
Anmeldetag
22. Oktober 2009
Veröffentlichung
12. August 2010
Rechtsraum
WO
IPC
C30B15/30C30B15/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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