Semiconductor defect integrated projection method and defect inspection support apparatus equipped with semiconductor defect integrated projection function

WO2010090152 Art A1 12. August 2010

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010090152
Aktenzeichen: EP10738484
Anmeldetag: 1. Februar 2010
Veröffentlichung: 12. August 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66G01N21/956G06T1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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