Laser exposure device

WO2010090190 Art A1 12. August 2010

Anmelder: V Technology Co., Ltd., Toppan Printing Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010090190
Aktenzeichen: EP10738522
Anmeldetag: 2. Februar 2010
Veröffentlichung: 12. August 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G02B26/10G02B27/09G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: V Technology Co., Ltd.
Toppan Printing Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Toppan Printing

Japanischer Konzern für Druck- und Verpackungstechnologien mit Sitz in Tokio, seit 1900 tätig. Produziert zudem Displays, Halbleitermasken und Sicherheitsdrucke.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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