Methods for examining a bonding structure of a substrate and bonding structure inspection devices

WO2010090605 Art A1 12. August 2010

Anmelder: Agency for Science, Technology and Research, Component Technology Pte Ltd 🇸🇬

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010090605
Aktenzeichen
EP10738831
Anmeldetag
8. Februar 2010
Veröffentlichung
12. August 2010
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/66G01N21/956G01N21/29H01L21/60
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Agency for Science, Technology and Research
Component Technology Pte Ltd
Land
🇸🇬 Singapur
🇸🇬 Agency for Science, Technology and Research

Staatliche Forschungsorganisation Singapurs (bekannt als A*STAR), zuständig für angewandte Forschung in Biomedizin, Physik und Ingenieurwissenschaften. Fördert Technologietransfer zwischen Wissenschaft und Industrie.

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