Non-fluoride containing composition for the removal of polymers and other organic material from a surface

WO2010091045 Art A2 12. August 2010

Anmelder: Advanced Technology Materials, Inc., The Warner-babcock Institute For Green Chemistry 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010091045
Aktenzeichen: EP10739041
Anmeldetag: 3. Februar 2010
Veröffentlichung: 12. August 2010
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/42

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Advanced Technology Materials, Inc.
The Warner-babcock Institute For Green Chemistry
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Advanced Technology Materials

Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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Fachgebiete

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