Aktuator mit mindestens einem Magneten für eine Projektionsbelichtungsanlage und Herstellungsverfahren Hierfür, sowie Projektionsbelichtungsanlage mit einem Magneten

WO2010091977 Art A1 19. August 2010

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010091977
Aktenzeichen: EP10706559
Anmeldetag: 2. Februar 2010
Veröffentlichung: 19. August 2010
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B26/08H01F7/02

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von