Non-Contact Substrate Processing

WO2010093568 Art A2 19. August 2010

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010093568
Aktenzeichen: EP10741589
Anmeldetag: 5. Februar 2010
Veröffentlichung: 19. August 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683H01L21/687H01L21/20H01L21/302H01L21/324

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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