Use of prediction data in monitoring actual production targets

WO2010093821 Art A2 19. August 2010

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010093821
Aktenzeichen
EP10741739
Anmeldetag
11. Februar 2010
Veröffentlichung
19. August 2010
Rechtsraum
WO
IPC
A61M5/142A61M5/168
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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