Polymer, radiation-sensitive composition, and monomer

WO2010095698 Art A1 26. August 2010

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010095698
Aktenzeichen: EP10743824
Anmeldetag: 18. Februar 2010
Veröffentlichung: 26. August 2010
Rechtsraum: WO
IPC: C08F20/16C08F212/04C08F220/16C08F220/54G03F7/004G03F7/039H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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