Acoustic assisted single wafer wet clean for semiconductor wafer process

WO2010096041 Art A1 26. August 2010

Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010096041
Aktenzeichen: EP09840518
Anmeldetag: 14. Oktober 2009
Veröffentlichung: 26. August 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304H01L21/302

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Lam Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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