Transistor, method for manufacturing transistor, and apparatus for manufacturing transistor
WO2010098100
Art A1
2. September 2010
Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2010098100
- Aktenzeichen
- EP10745985
- Anmeldetag
- 25. Februar 2010
- Veröffentlichung
- 2. September 2010
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L29/786H01L21/31H01L21/336
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ulvac, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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