Turbo molecular pump and particle trap for turbo molecular pump

WO2010098192 Art A1 2. September 2010

Anmelder: Shimadzu Corporation, Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010098192
Aktenzeichen: EP10746073
Anmeldetag: 5. Februar 2010
Veröffentlichung: 2. September 2010
Rechtsraum: WO
IPC: F04D19/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Shimadzu Corporation
Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shimadzu

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Kyoto. Shimadzu entwickelt Analyse- und Messgeräte, medizinische Bildgebungssysteme sowie Komponenten für Luft- und Raumfahrt, Industrie und Wissenschaft.

2.214 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)

Vertreten von