Vacuum heating device, vacuum heat treatment method
WO2010098427
Art A1
2. September 2010
Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2010098427
- Aktenzeichen
- EP10746306
- Anmeldetag
- 26. Februar 2010
- Veröffentlichung
- 2. September 2010
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/26
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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