Optical element holding device, optical system, exposure apapratus, device manufacturing method, and interchange method for optical element

WO2010098474 Art A1 2. September 2010

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010098474
Aktenzeichen: EP10746353
Anmeldetag: 26. Februar 2010
Veröffentlichung: 2. September 2010
Rechtsraum: WO
IPC: G02B7/02G02B7/00G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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