High Speed Autofocus Interferometric Inspection Systems&methods
WO2010098921
Art A2
2. September 2010
Anmelder: Georgia Tech Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2010098921
- Aktenzeichen
- EP10746597
- Anmeldetag
- 26. Januar 2010
- Veröffentlichung
- 2. September 2010
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H05K13/04H05K3/34B23K3/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Georgia Tech Research Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Georgia Tech Research Corporation
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