Flexure guide bearing for short stroke stage

WO2010099420 Art A2 2. September 2010

Anmelder: Electro Scientific Industries, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010099420
Aktenzeichen
EP10746898
Anmeldetag
26. Februar 2010
Veröffentlichung
2. September 2010
Rechtsraum
WO
IPC
B23K26/08B23K26/04B23K26/42
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Electro Scientific Industries, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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