Fluid Controller

WO2010100792 Art A1 10. September 2010

Anmelder: Tokyo Electron Limited, Fujikin Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010100792
Aktenzeichen: EP09841152
Anmeldetag: 6. November 2009
Veröffentlichung: 10. September 2010
Rechtsraum: WO
IPC: G05D7/06C23C16/52H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
Fujikin Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von