Gate valve and method of opening/closing the gate valve

WO2010101014 Art A1 10. September 2010

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010101014
Aktenzeichen
EP10748610
Anmeldetag
12. Februar 2010
Veröffentlichung
10. September 2010
Rechtsraum
WO
IPC
F16K5/04B65G49/00F16K39/06F16K51/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Tokyo Electron Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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