Gas distribution apparatus, and substrate-processing apparatus comprising same

WO2010101369 Art A2 10. September 2010

Anmelder: Jusung Engineering Co. Ltd. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010101369
Aktenzeichen: EP10748911
Anmeldetag: 26. Februar 2010
Veröffentlichung: 10. September 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/205B05B7/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Jusung Engineering Co. Ltd.
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Jusung Engineering

Jusung Engineering ist ein südkoreanischer Hersteller von Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleitertechnik, ergänzt durch Metallurgie und Elektronik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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