Electronic lithography method with cathodoluminescence imaging

WO2010106248 Art A1 23. September 2010

Anmelder: Centre National de la Recherche Scientifique 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010106248
Aktenzeichen: EP10712462
Anmeldetag: 17. März 2010
Veröffentlichung: 23. September 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Centre National de la Recherche Scientifique
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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