Method for detecting oxigen, method for determining air leakage, gas component detector, and vacuum processor
WO2010106792
Art A1
23. September 2010
Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2010106792
- Aktenzeichen
- EP10753289
- Anmeldetag
- 16. März 2010
- Veröffentlichung
- 23. September 2010
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N27/66G01L21/32G01M3/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
444 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.