Dual wafer stage exchanging system for lithographic device

WO2010111972 Art A1 7. Oktober 2010

Anmelder: Tsinghua University 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010111972
Aktenzeichen: EP10758074
Anmeldetag: 2. April 2010
Veröffentlichung: 7. Oktober 2010
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01L21/68H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tsinghua University
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Tsinghua University

Chinesische Universität mit Sitz in Peking, eine der führenden Forschungshochschulen des Landes. Aktiv in Ingenieurwissenschaften, Informatik, Materialwissenschaften und Naturwissenschaften sowie in zahlreichen technischen Anwendungsfeldern.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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