Holding apparatus, transfer apparatus, and rotation transmitting apparatus

WO2010113485 Art A1 7. Oktober 2010

Anmelder: Ulvac, Inc., Fujikura Kasei Co., Ltd., Keio University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010113485
Aktenzeichen: EP10758265
Anmeldetag: 30. März 2010
Veröffentlichung: 7. Oktober 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677B25J15/08B65G49/07

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Ulvac, Inc.
Fujikura Kasei Co., Ltd.
Keio University
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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🇯🇵 Keio University

Die Keio University ist eine private Universität in Tokio, Japan, die in zahlreichen Fachrichtungen von Wirtschaft bis Ingenieurwissenschaften lehrt und forscht.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von