Apparatus and method for treating etching solution
WO2010113792
Art A1
7. Oktober 2010
Anmelder: Kurita Water Industries Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2010113792
- Aktenzeichen
- EP10758564
- Anmeldetag
- 26. März 2010
- Veröffentlichung
- 7. Oktober 2010
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/306B01D61/02B01D61/14C02F1/44H01L31/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kurita Water Industries Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Kurita Water Industries
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, spezialisiert auf Wasseraufbereitungstechnologien und Chemikalien für industrielle Anwendungen.
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Vertreten von
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