Method for manufacturing free-standing iii nitride semiconductor substrate, and substrate for growing iii nitride semiconductor layer
WO2010116596
Art A1
14. Oktober 2010
Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2010116596
- Aktenzeichen
- EP10761304
- Anmeldetag
- 2. März 2010
- Veröffentlichung
- 14. Oktober 2010
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C30B29/38C30B25/02H01L21/205
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Handotai
Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.
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Vertreten von
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