Production system for photovoltaic device, and production method for photovoltaic device
WO2010116721
Art A1
14. Oktober 2010
Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2010116721
- Aktenzeichen
- EP10761425
- Anmeldetag
- 6. April 2010
- Veröffentlichung
- 14. Oktober 2010
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L31/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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