Surface-treatment method for components of mechanical booster pumps, turbomolecular pumps, or dry pumps, as well as mechanical booster pump, turbomolecular pump, or dry pump treated with said surface-treatment method
WO2010116747
Art A1
14. Oktober 2010
Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2010116747
- Aktenzeichen
- EP10761451
- Anmeldetag
- 8. April 2010
- Veröffentlichung
- 14. Oktober 2010
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C25D11/04C25D11/06F04C29/00F04D19/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ulvac, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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