Pattern formation method, pattern, and device

WO2010117088 Art A1 14. Oktober 2010

Anmelder: Japan Science and Technology Agency 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010117088
Aktenzeichen: EP10761786
Anmeldetag: 9. April 2010
Veröffentlichung: 14. Oktober 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/208B29C59/02C01B33/02C01B33/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Japan Science and Technology Agency
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Japan Science and Technology Agency

Japanische staatliche Förderorganisation für Wissenschaft und Technologie, die Forschungsprojekte finanziert und den Technologietransfer zwischen Universitäten und Industrie unterstützt. Die Behörde untersteht dem japanischen Bildungsministerium.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

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