Patterning Via Optical-Saturable Transitions

WO2010117776 Art A2 14. Oktober 2010

Anmelder: Massachusetts Institute of Technology 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010117776
Aktenzeichen
EP10762174
Anmeldetag
30. März 2010
Veröffentlichung
14. Oktober 2010
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/027H01L31/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Massachusetts Institute of Technology
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Massachusetts Institute of Technology

US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.

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