System, method and apparatus for laser produced plasma extreme ultraviolet chamber with hot walls and cold collector mirror

WO2010117859 Art A1 14. Oktober 2010

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010117859
Aktenzeichen: EP10762220
Anmeldetag: 31. März 2010
Veröffentlichung: 14. Oktober 2010
Rechtsraum: WO
IPC: G01J1/42

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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