Detector module with a cooling arrangement, and lithographic apparatus comprising said detector module

WO2010118902 Art A1 21. Oktober 2010

Anmelder: ASML Netherlands BV 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010118902
Aktenzeichen: EP10706975
Anmeldetag: 16. Februar 2010
Veröffentlichung: 21. Oktober 2010
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01M11/02G02B7/00G02B5/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands BV
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML Netherlands

ASML Netherlands B.V. ist die niederländische Kernsparte des weltweit führenden Herstellers von Lithografiesystemen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Veldhoven. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Optik und Fototechnik, ergänzt um Elektronik, elektrische Energietechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2020.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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