Method for measuring electrical characteristics of semiconductor substrate

WO2010119666 Art A1 21. Oktober 2010

Anmelder: Sumitomo Chemical Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010119666
Aktenzeichen: EP10764253
Anmeldetag: 13. April 2010
Veröffentlichung: 21. Oktober 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66G01N27/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumitomo Chemical Company, Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Chemical

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Petrochemie, Agrochemie, Pharmazeutika, Elektronikmaterialien, Energiematerialien und Kunststoffen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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