Substrate carrier measuring jig, collision preventing jig, and collision preventing method using the collision preventing jig

WO2010119846 Art A1 21. Oktober 2010

Anmelder: Hirata Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010119846
Aktenzeichen
EP10764430
Anmeldetag
12. April 2010
Veröffentlichung
21. Oktober 2010
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/68
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hirata Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hirata

Hirata ist ein japanischer Hersteller von Automatisierungs- und Fertigungsanlagen, unter anderem für die Elektronik- und Displayindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Verpackungs- und Fördertechnik sowie Werkzeug- und Fertigungstechnik, ergänzt durch Halbleitertechnik. Die Titel betreffen Pressvorrichtungen und Produktionsverfahren für Displayeinheiten.

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