Apparatus and method for using a viscoelastic cleaning material to remove particles on a substrate

WO2010120654 Art A1 21. Oktober 2010

Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010120654
Aktenzeichen: EP10764954
Anmeldetag: 9. April 2010
Veröffentlichung: 21. Oktober 2010
Rechtsraum: WO
IPC: B08B7/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik

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