Removal of charge between a substrate and an electrostatic clamp

WO2010120983 Art A2 21. Oktober 2010

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2010120983
Aktenzeichen: EP10765158
Anmeldetag: 15. April 2010
Veröffentlichung: 21. Oktober 2010
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/265H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Varian Semiconductor Equipment Associates
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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