Cyclic self-limiting cmp removal and associated processing tool
WO2010121029
Art A2
21. Oktober 2010
Anmelder: Sinmat, Inc., University of Florida Research Foundation, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2010121029
- Aktenzeichen
- EP10765184
- Anmeldetag
- 15. April 2010
- Veröffentlichung
- 21. Oktober 2010
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/304
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Sinmat, Inc.
University of Florida Research Foundation, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
University of Florida Research Foundation
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