Method for forming metal oxide film, metal oxide film, and apparatus for forming metal oxide film

WO2010122629 Art A1 28. Oktober 2010

Anmelder: Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation, Kyoto University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2010122629
Aktenzeichen
EP09843629
Anmeldetag
20. April 2009
Veröffentlichung
28. Oktober 2010
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/40C23C16/448
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation
Kyoto University
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation

Japanisches Gemeinschaftsunternehmen von Toshiba und Mitsubishi Electric für industrielle Antriebssysteme, Motoren und Automatisierungstechnik.

556 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Kyoto University

Renommierte japanische Universität mit breiter Grundlagenforschung in Naturwissenschaften, Medizin und Ingenieurwesen.

1.706 Patente in unserer Datenbank

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